氧化铝微孔陶瓷吸盘

高洁净：纯度高、无静电，适配半导体等高洁净场景。

精密吸附：表面粗糙度低（Ra≤0.1μm），微孔均匀，吸附力误差＜±2%，工件无滑移变形。

耐高温：耐 300℃以上高温，热膨胀系数与硅接近，热变形小。

抗腐蚀：耐强酸强碱及等离子体，适合干法蚀刻等工艺。

高强度耐磨：99% 氧化铝高温烧结，硬度 1600Hv，寿命长。

绝缘性佳：体积电阻率 > 10¹⁴Ω・cm，避免微短路。

可定制：调整晶粒 / 孔隙率适配不同工艺需求。

环保节能：减少化学污染，部分自吸附省能耗。