高洁净:陶瓷材质无金属离子污染,表面光滑(Ra≤0.1μm),适合精密电子、半导体。
精密吸附:微孔均匀(5-50μm),吸附力误差<±2%,可吸超薄工件(0.05mm)。
耐高温:耐 300-600℃高温,热膨胀系数低,高温下变形小。
抗腐蚀:耐酸碱、等离子体腐蚀,寿命 3-5 年。
绝缘 / 低磁:氧化铝陶瓷绝缘性佳(体积电阻率>10¹⁴Ω・cm),无磁性干扰。
二、若为 “金属微孔吸盘”(如不锈钢、铝合金)
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