高洁净:表面光滑、不产尘,适合精密工件(如晶圆)。
耐高温:耐 - 200℃~600℃(部分材质达 1400℃),热变形小。
抗腐蚀:耐酸碱、等离子体腐蚀,寿命长(3-5 年)。
高刚性:烧结工艺致密,抗冲击、吸附力强(>100 万次循环)。
多功能:可定制微孔、加热 / 防静电,适配异形件和超薄工件。
低干扰:无磁性、低导热,适合真空和磁场敏感场景。
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