氧化铝陶瓷微孔吸盘

高洁净：纯度＞99.5%，无杂质污染，适配半导体等高精密场景。

吸附精准：表面极光滑（Ra≤0.05μm），微孔均匀（Φ20-50μm），吸附力误差＜±1.5%，不伤工件。

耐高温：耐 - 200℃~600℃，热膨胀系数与硅接近，高温下变形小。

抗腐蚀：耐强酸强碱、等离子体，寿命＞100 万次循环。

高强度：1650℃烧结，硬度 1600Hv，抗冲击、密封性强（泄漏率极低）。

绝缘性：体积电阻率＞10¹⁴Ω・cm，避免微短路（如晶圆切割）。

零磁干扰：磁化率＜1×10⁻⁶，适用于磁控溅射、电子束加工等磁场敏感场景。

可定制：支持形状、加热 / 防静电功能定制，适配多场景需求。