碳化硅凸点吸盘

精密对准与保护：凸点阵列精度 ±2μm，对准误差≤5μm，柔性缓冲结构避免凸点损伤（损伤率＜0.01%）。

耐高温稳定：耐 450℃高温，内置温控系统（均匀性 ±1.5℃），热膨胀系数匹配芯片，减少焊接应力。

高洁净抗污染：颗粒释放＜0.3 个 /cm²，耐助焊剂腐蚀，表面易清洁，适配高洁净封装环境。

高强度长寿命：抗折强度≥450MPa，经 200 万次循环磨损＜5μm，真空密封性优异（泄漏率极低）。

多功能集成：可调静电控制、气流辅助，兼容多尺寸凸点（50μm-500μm 间距），适配先进封装工艺。