精度高：平面、尺寸准，稳稳托住工件，保光刻等工艺精度。
耐热稳：导热快又匀，高温不变形，适配冷热工序。
耐磨好：硬度高、磨损小，表面光，不伤工件还均匀吸。
抗腐蚀：耐酸碱、抗电浆，不被腐蚀，也不污染工件。
能定制：结构、尺寸可改，适配半导体多种设备工艺。
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