静电速消:带导电结构 / 涂层,快速导走静电,不吸晶圆、不伤芯片。
超洁净:陶瓷致密,不掉屑、不析出杂质,半导体洁净车间能用。
性能刚:氧化铝等陶瓷做的,硬、耐磨、耐高温、抗腐蚀,用好久都稳。
精度稳:热胀冷缩小,加工准,搬晶圆时定位误差小,芯片制造不翻车。
场景通:真空、高温、有腐蚀的半导体工序(光刻、刻蚀等)
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