隔空搬:靠伯努利气流,不碰晶圆,防刮伤、污染,专搬薄脆的。
能导静电:带防静电设计(涂层 / 导电结构),及时导走静电,不 “粘片”、少破片。
陶瓷硬:氧化铝做的,耐磨、耐高温、抗腐蚀,用好久也稳,不掉渣污染。
精度准:热胀冷缩小,定位误差小,芯片制造时搬运、放片都精准。
场景广:真空、高温、有腐蚀的半导体工序(光刻、刻蚀等)
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