隔空搬:靠伯努利气流,不接触晶圆,防刮伤、污染,专搬薄脆的。
陶瓷刚:氧化铝材质,硬、耐高温、抗腐蚀,用好久也不变形、不掉渣。
超干净:陶瓷密实,不跑杂质、不静电,半导体洁净环境放心用。
精度稳:热胀冷缩小,加工准,搬东西定位误差小,芯片制造稳。
场景广:真空、高温、有腐蚀的半导体工序(光刻、刻蚀等),都能扛 。
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