防静电:陶瓷改性后能快速导走静电,不吸工件、不伤芯片。
性能刚:氧化铝陶瓷做的,硬、耐磨、耐高温、抗腐蚀,用很久也稳。
结构巧:U 型开口抓晶圆,安装位连机械臂,定位准、搬运稳。
场景专:半导体光刻、检测等工序,真空、有腐蚀环境都能用,助力自动化生产。
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