防静电陶瓷手臂

防静电又洁净：改性后快速导静电，不吸、不伤晶圆；陶瓷致密，不掉屑、不污染，保洁净。

超耐磨扛造：莫氏硬度 9 级，搬运摩擦也不易磨损，少故障、省维护。

耐高温稳形：熔点超 2000℃，高温工序（热处理等）不变形，搬运精度稳。

化学超稳定：不与酸碱、等离子反应，绝缘好，不污染、电不伤晶圆。

精度高适配：热胀冷缩小，加工精（误差 ±0.001mm），结构贴晶圆，对接机械臂准。