伯努利手臂

1.不接触搬晶圆，零损伤

用气流托住晶圆（非接触），不划不伤，尤其适合薄 / 敏感芯片，还少产灰尘，够干净。

2. 防静电又绝缘

陶瓷本身不导电，防静电放电；表面可处理导静电，不怕气流摩擦积电。

3. 耐高温、抗腐蚀

能扛 1200℃高温（如热处理工序），不与酸碱、等离子体反应，长期用不变形、不被腐蚀。

4. 搬得准、稳得很

气流调一调，微米级悬浮高度，晶圆不晃（晃动＜0.1mm）；热胀冷缩小，定位误差小（±0.005mm）。