适配：环形结构，贴合腔体空间，适配晶圆加工流程。
耐造：陶瓷材质，扛高温、等离子腐蚀，保绝缘或稳定传电。
精准：小孔均布，让工艺气均匀散开，保障晶圆加工一致性。
稳定：高洁净，不易污染晶圆；长期用，尺寸和性能稳，设备不停机
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