氧化铝陶瓷吸盘

精度高：定位误差≤±0.005mm，非接触吸附不伤晶圆（如超薄 / 3D 芯片）。

耐高低温：耐 400~1200℃高温，适配扩散、退火等工序，不变形。

抗腐蚀：耐强酸强碱（除氢氟酸），用于刻蚀、清洗设备不被腐蚀。

超洁净：不产尘、抗静电，符合 Class 100 洁净室标准，防污染。

寿命长：耐磨耐用，用 5~10 年，维护简单（定期水洗即可）。

轻量灵活：重量轻（金属 1/3），可定制适配 2~18 英寸晶圆及异形工件。