氧化铝微孔陶瓷吸盘

洁净无污：高纯度材质，不产尘、抗静电，避免污染晶圆。

吸附精准：

气膜悬浮（非接触）：不伤超薄晶圆（如＜50μm）和脆弱芯片。

真空定位：精度达 ±0.005~0.02mm，适合纳米级操作。

耐温抗蚀：

耐高温：可在 400~800℃长期使用（短期 1200℃）。

耐化学：抗强酸强碱（除氢氟酸），适配刻蚀、清洗等工序。

耐用易维护：硬度高、耐磨，寿命 5~10 年，定期水洗即可。

轻量灵活：重量轻（金属 1/3），适配 2~18 英寸晶圆及异形芯片。